EHT Semi 将 Bird 射频测量技术集成进半导体电源平台

EHT Semi 将 Bird 射频测量技术集成进其半导体电源平台，包括 Orion™ Direct RF™ System 和定制波形发生器。嵌入式 Bird 探头具备 NIST 可溯源校准，可直接测量功率、电压、电流和阻抗，使功率调节控制在设定点 2% 以内，并支持从工厂校准到晶圆厂生产的测量连续性。该技术现已用于部分 Orion™ Direct RF™ System 和定制波形功率系统。