东芝大学团队在单晶金刚石 MEMS 悬臂中内建 NV 色心量子传感器检测弯曲应力

日本东北大学团队将氮-空位（NV）色心直接做进单晶金刚石 MEMS 悬臂的制造工艺中，使机械结构与量子传感功能在同一金刚石器件内一体成型，无需额外贴装传感器。NV 色心的 ODMR 共振频率会随悬臂振动产生的拉伸与压缩弯曲应力发生反向偏移，从而可探测动态应力变化。该研究发表于 Functional Diamond，团队希望后续进一步提升系统精度。