SUSS 推出 GreenTec Solutions 产品线及首款 GT200 系统，进军晶圆清洗市场

SUSS MicroTec 推出 GreenTec Solutions 产品线及首款 GT200 系统，正式进入晶圆级清洗市场。GT200 面向 200 mm 制程开发、验证与量产，整合 TurbulenStrip 和 CrustBuster 技术，减少化学品消耗且不使用危险酸类。SUSS 计划 2027 年推出 300 mm HVM 平台，2028 年跟进 200 mm HVM 平台。