Tech Xplore 科技、AI 与电子产业·2026-10-09 01:00· 5 天前AI 评分35

POSTECH 团队利用被忽视的 κ 相硒化铟实现晶圆级逻辑晶体管

Overlooked indium selenide phase enables wafer-scale logic transistors

AI 导读

POSTECH 与 KAIST 团队基于此前鲜有研究的 κ 相 In₂Se₃，在 4 英寸晶圆上通过热蒸发加 250 °C 低温退火制备出约 10 nm 厚的均匀薄膜，并制成 576 个晶体管阵列。